国产av无码专区亚洲av麻豆丫,骚少妇,色婷婷亚洲婷婷八月中文字幕,99热9

產(chǎn)品中心/ products

您的位置：首頁  -  產(chǎn)品中心  -  清洗去膠系統(tǒng)  -  等離子去膠清洗及灰化系統(tǒng)  -  NPC-3500（A）全自動等離子去膠機（刻蝕機）

NPC-3500（A）全自動等離子去膠機（刻蝕機）

NPC-3500（A）全自動等離子去膠機（刻蝕機）：NANO-MASTER 等離子刻蝕和等離子灰化機是專門設計用來滿足晶圓批處理或單晶片處理，具有廣泛應用，從晶圓的光刻膠剝離到表面改性都涉及到。該系列的設備采用PC控制，可以配套不同的等離子源，加熱或不加熱基片夾具,具有*的能力:可以從PE等離子刻蝕切換到RIE刻蝕模式,也就是說可以支持各向同性和各向異性的各種應用。

  • 產(chǎn)品型號：
  • 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
  • 更新時間：2023-11-13
  • 訪  問  量：1754
立即咨詢

聯(lián)系電話：021-62318025

產(chǎn)品詳情

Plasma Etcher等離子刻蝕機

NPC-3500(A)全自動等離子去膠機(刻蝕機)概述：NANO-MASTER 等離子刻蝕和清洗系統(tǒng)是專門設計用來滿足晶圓批處理或者單晶片處理的廣泛應用，從晶圓的光刻膠剝離到表面改性都涉及到。該系列的設備采用PC控制，可以配套不同的等離子源，加熱或不加熱基片夾具,具有*的能力:可以從PE等離子刻蝕切換到RIE刻蝕模式,也就是說可以支持各向同性和各向異性的各種應用。

NPC-3500(A)全自動等離子去膠機(刻蝕機)產(chǎn)品特點

  • 緊湊型立式系統(tǒng)
  • 自動上下載片
  • 帶Load Lock
  • 不銹鋼、鋁制腔體或鐘罩式耐熱玻璃腔
  • 兼容100級超凈間使用
  • 淋浴頭、ICP或微波等離子源
  • 旋轉(zhuǎn)樣品臺
  • RF偏壓可PID控制加熱到300 °C或冷卻的樣品臺
  • 全自動或手動RF調(diào)諧
  • z多可支持5個MFC帶電拋光的氣體管路
  • PC計算機控制的氣動閥
  • 帶密碼保護的多級訪問控制
  • 基于LabView軟件的PC計算機全自動控制
  • 機械泵的壓力可達到10mTorr
  • 250 l/s的渦輪分子泵
  • 極限真空為5x10-7Torr
  • 完整的安全聯(lián)鎖

應用：

  • 有機物以及無機物的殘留物去除
  • 光刻膠剝離或灰化
  • 去殘膠以及內(nèi)腐蝕(深腐蝕)應用
  • 清洗微電子元件，電路板上的鉆孔或銅線框架
  • 提高黏附性，消除鍵合問題
  • 塑料的表面改型：O2處理以改進涂覆性能
  • 產(chǎn)生親水或疏水表面

 

    在線咨詢

    留言框

    • 產(chǎn)品：

    • 您的單位：

    • 您的姓名：

    • 聯(lián)系電話：

    • 常用郵箱：

    • 省份：

    • 詳細地址：

    • 補充說明：

    • 驗證碼：

      請輸入計算結(jié)果（填寫阿拉伯數(shù)字），如：三加四=7

    新聞資訊
    聯(lián)系我們
    產(chǎn)品中心
    021-62318025
    掃碼
    加微信
    版權所有©2024 那諾中國有限公司 All Rights Reserved   備案號：   sitemap.xml   技術支持：化工儀器網(wǎng)   管理登陸